| 材料 | 混合物 |
| 产地 | 美国 |
| 类型 | 气体流量传感器 |
| 输出信号 | 模拟型 |
| 制造商 | 美国SIARGO |
| 种类 | 流量 |
| 执行质量标准 | 美标 |
| 贸易属性 | 外贸+内贸 |
| 材料物理性质 | 半导体 |
| 材料晶体结构 | 单晶 |
| 品牌 | SIARGO |
| 型号 | FS1015CL-150-C |
| 质量认证 | ROSS |
气体流量传感器(Gas Flow Sensors)
FS1015CL系列
产品简介
FS1015CL系列气体质量流量传感器是专门为各类医学用气体的测量和过程控制而设计的。产品采用本公司自主研发的微机电系统(MEMS)流量传感芯片来制作,适用于各类清洁气体。成本低、易安装、不需要温度压力补偿,可替代容积式或压差式的传统流量计。测量范围最大到150SLPM,ISO 15mm连接方式
产品特点
传感器灵敏度高,有极小的始动流量
传感器芯片采用热质量流量计量,无需温度压力补偿,保证了传感器的高精度计量
在单个芯片上集成了多个传感器,使传感器的量程比大大提高
传感器的零点稳定度高
全量程高稳定性
全量程优良的重复性
低功耗、低压损
响应速度快
技术参数
| 参数 | 数值 | 单位 |
| 流量范围 | 0-100/0-150 | SLPM |
| 量程比 | 100:1 | |
| 精度 | 士(2.0+0.5FS) | % |
| 重复性 | 0.5 | % |
| 零点输出漂移 | ±30 | mV |
| 输出漂移 | ±0.12 | %/℃ |
| 响应时间 | 8 | ms |
| 工作电源 | 5±5% | VDC |
| 输出方式 | 线性:模拟电压0.5~4.5VDC | |
| 最大流量压损 | 1300 | Pa |
| 最大工作压力 工作温度 | ≤0.2 -10~+55 | MPa ℃ |
| 储存温度 | -20~+65 | ℃ |
| 工作湿度 | <95%RH(无结冰、无凝露) | |
| 电气接口’ | 5针插座,南士 CD R-5 | |
| 机械接口 | ISO 15 mm | |
| 校准方式 空气 | (20℃,101.325kPa) | |
| 重量 | 21.5 | G |
| 最大允许流量 | 300 | SLPM |
| 最大允许流量变化 | 40 | SLPM/s |
产品选型
FS1015CL-( 1 )-ISO-( 2 )
括号(2)选型: 气体介质(A-空气;B-笑气;C-二氧化碳;N-氮气;0-氧气;R )
括号(1)选型:最大流量*(可选100和150)
ISO:机械接口(ISO-ISO 15mm)
最大流量的单位为SLPM,比如100代表最大流量为100SLPM;
对二氧化碳和笑气,最大流量可选100,不可选150。
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